Development
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![](https://cvr.co.jp/wp-content/themes/cvr/img/development/cleen_03.jpg)
クリーンルーム
クラス : 100レベル
面積 : クリーンルーム 22㎡・用力ルーム 90㎡
環境汚染レベル : 45nm ノードレベルDemo 可能
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装置
CVR-9000Tr …1 台 : P-SiO・P-SiN・TaO・Oxidation・Nitridation
CVR-2300β機 …1 台 : ALO・Ashing
クラス : 100レベル
面積 : クリーンルーム 22㎡・用力ルーム 90㎡
環境汚染レベル : 45nm ノードレベルDemo 可能
CVR-9000Tr …1 台 : P-SiO・P-SiN・TaO・Oxidation・Nitridation
CVR-2300β機 …1 台 : ALO・Ashing