Development
クリーンルーム
クラス : 100レベル
面積 : クリーンルーム 22㎡・用力ルーム 90㎡
環境汚染レベル : 45nm ノードレベルDemo 可能
装置
CVR-9000Tr …1 台 ： P-SiO・P-SiN・TaO・Oxidation・Nitridation
CVR-2300β機 …1 台 ： ALO・Ashing