CVR-3000 WD

2015年10月18日

φ12″ ウェハーに対応した、Dry & Wetのコンビネーションプラットホーム
レジストアッシングからウェットRCA洗浄が可能です。
また、クロスコンタミネーションを意識した、裏面洗浄も可能にいたしました。