Development

クリーンルーム

クラス : 100レベル
面積 : クリーンルーム 22㎡・用力ルーム 90㎡
環境汚染レベル : 45nm ノードレベルDemo 可能


装置

CVR-9000Tr …1 台 : P-SiO・P-SiN・TaO・Oxidation・Nitridation   
CVR-2300β機 …1 台 : ALO・Ashing


インキュベーションセンター

ThermalPlasma 実験機 ・・・ 1台