成膜サービス

2015年10月22日

処理サイズ　：　φ6 – φ8 インチWafer への成膜サービス

※φ8インチSiトレイの使用によりチップ処理対応可能

膜種　：　TaO ・AlO ・SiO ・SiN
膜厚　：　1nm ～ 1000nm 程 （条件により異なります）
詳細は別途お打ち合わせ